布魯克bruker輪廓儀利用*的直接驅(qū)動掃描樣品臺,將測量時間加快40%,同時保持行業(yè)的性能。Vision64是布魯克的64位并行處理操作和分析軟件,能夠更快地加載3D形貌文件,并更快地應(yīng)用篩選器和多區(qū)域數(shù)據(jù)庫分析。
單拱門結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使布魯克bruker輪廓儀更堅(jiān)固,從而將環(huán)境噪音的影響降至低。DektakXT升級的"智能電子設(shè)備"可降低溫度變化的影響,并采用現(xiàn)代處理器,大限度地減少噪聲水平,使其成為能夠測量<10nm臺階高度的更強(qiáng)大的系統(tǒng)。
布魯克的Vision64軟件通過提供直觀、簡化的用戶可視化界面,加入到DektakXT的創(chuàng)新設(shè)計(jì)。智能架構(gòu)和可自定義自動化功能相結(jié)合,可實(shí)現(xiàn)快速、全面的數(shù)據(jù)收集和分析。無論您是使用分析腳本對單個掃描結(jié)果進(jìn)行分析,還是應(yīng)用自定義篩選器設(shè)置和計(jì)算,DektakXT的數(shù)據(jù)分析器都能顯示當(dāng)前分析結(jié)果,同時顯示其他可能的分析工具。
測量部分包括檢測器、驅(qū)動部、測量臺立柱、測量臺基座、除振臺、架臺等。
⑴測量臺基架:用來安裝需要測量的工件。
⑵測量臺柱桿:使探針上下移動。
⑶柱桿手動旋鈕:手動使探針上下移動。
⑷測量面板:用于操作測量部分。
⑸驅(qū)動部分:將探針沿著測量方向驅(qū)動的裝置。
⑹驅(qū)動方向指示燈:驅(qū)動方向側(cè)指示燈亮燈。
⑺驅(qū)動部分手動旋鈕:用手動方法進(jìn)行傳感器的左右移動。
⑻驅(qū)動部分手動旋鈕切換開關(guān):按下此開關(guān),便可切換驅(qū)動部分的手動旋鈕的有效、無效。
⑼檢測器:用來獲取Z軸形狀數(shù)據(jù)。
⑽探針桿:用來安裝探針。
⑾探針:用來探測工件表面。
⑿測量力調(diào)整配重:為了調(diào)整測量力大小的配重。
⒀測量力微調(diào)緊固螺釘:用于調(diào)整測量力調(diào)整平衡塊的平衡螺釘。
操作使用步驟:
①將測量力調(diào)整配重的對刻度面與本體針桿的刻度中央位置對齊。
②使平衡塊向左右方向移動,將觸針懸臂調(diào)整至平衡(向前移動4小格),在此狀態(tài)下測量力為零,此時觀察Z值接近于零即可,一般不可能達(dá)到絕對零。
③向下方向測量時,請將測量力調(diào)整配重向左移動一個刻度,測量力將變成10毫牛。
④向上方向測量時,請將測量力調(diào)整配重向右移動一個刻度,測量力將變成10毫牛。
注:1.通常的測量以10毫牛的測量力進(jìn)行。
2.標(biāo)準(zhǔn)針桿和長度不同的針桿,其測量力與刻度都不同