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等離子蝕刻機的維護和清潔是確保其正常運行和延長使用壽命的重要措施。以下是一些常見的維護和清潔要求：1、每日檢查：每天使用等離子蝕刻機前，應(yīng)檢查外觀、真空泵油位、氣體供應(yīng)系統(tǒng)、冷卻水循環(huán)系統(tǒng)等是否正常。同時，檢查真空度、射頻功率、氣體流量等參數(shù)是否穩(wěn)定。2、清潔腔體：每次使用后，應(yīng)清潔腔體內(nèi)的殘留物?？梢允褂谜婵瘴鼔m器或......

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